Zgradba membranske kapsule, princip in merilne značilnosti

Kapacitivni tlačni senzor membranskega tipa- uporablja vakuumsko membrano kot svoj osrednji zaznavni element z notranjo vakuumsko zaprto strukturo-. Ko se zunanji zračni tlak spremeni, se vakuumska membrana podvrže elastični deformaciji, zaradi česar se kondenzatorske plošče premaknejo in s tem spremenijo kapacitivnost. Kapacitivni tlačni senzor tipa-silicijeve membrane uporablja vakuumsko membrano iz tankega filma-kristalnega silicija. Deformacija zgornje in spodnje diafragme neposredno povzroči spremembo razdalje med ploščama kondenzatorja, s čimer se doseže visoko-natančno merjenje zračnega tlaka z zaznavanjem linearne spremembe kapacitivnosti.

Visoka občutljivost: Toga oblika vakuumske membrane omogoča, da se neposredno premika pod pritiskom, kar povzroči spremembo kapacitivnosti;

Širok obseg uporabe: meri lahko diferenčni tlak in vakuum ali zaznavanje minutnega absolutnega tlaka;

Zasnova s ​​popolno kompenzacijo: inteligentni digitalni tlačni senzor s popolno-kompenzacijo zmanjšuje motnje okolja s tehnologijo temperaturne kompenzacije.